気圧センサ

はじめに

本センサは高感度の薄膜サーミスタを用いた熱伝導式の気圧センサで、大気の圧力差による熱伝導率の違いを検知して気圧を検知します。
熱伝導式の気圧センサは使用環境雰囲気の熱伝導率が大気圧と異なった場合に出力変化が現れるもので、出力信号は測定環境の気圧に対して直線性を示し、0.15Paの真空状態から100kPaの大気圧、さらには350kPaの加圧された空気の圧力を測定することが可能です。
サーミスタを用いた熱伝導方式のセンサは温湿度依存性がありますので、実際の回路設計時においてはその特性も考慮しながら温度補正及び湿度補正を行っていただく必要があります。

気圧センサ外観(参考形状)

特長

・高感度で応答性の高い薄膜サーミスタを使用(1005M t=0.1mm)
(薄膜サーミスタの高精度ペアリングにより高精度を達成)
・50℃以下(大気圧環境)の加熱温度にすることで低消費電力を達成
・連続測定が可能で 常時気圧を監視することが可能

測定回路(真空用)

気圧センサの特性例

・気圧センサ 圧力検知の出力特性例

圧力と出力電圧の関係図

広範囲での気圧計測が可能です。

 

・気圧センサ 出力特性の温度依存性

気圧センサの温度特性図

気圧センサの出力は温度依存性があります。