医療

高度医療用センサの超小型化、高精度化

製品の課題

医療機器の進化によって、高度医療のカテーテルを使った治療が発展してきました。それに伴いカテーテル用として超小型、高精度サーミスタのニーズが高まってきましたが、セラミック半導体であるサーミスタは、従来の製法では小型化と高精度化を両立することが困難でした。

課題解決への取組み

SEMITECではこの難題を解決するため、世界で初めて量産化に成功した独自の薄膜サーミスタ技術を駆使して、超小型化、高精度化を両立した、薄膜サーミスタ「Fμシリーズ」を開発しました。
これにより、カテーテルなど高度医療用途に対応できる直径0.5㎜以下のサーミスタ温度センサを実現、サーモダイリューションカテーテル用として心拍出量を温度変化で計測するために採用されています。
また、薄膜サーミスタの製造プロセスをMEMS技術にも展開、カテーテル用サーミスタで培った微細加工技術と融合させることで、高度医療機器用センサの開発にチャレンジし続けています。
超小型圧力センサ「Pμセンサ」や3次元接触力センサ「CFセンサ」など、温度センシング領域以外の新しいセンサ開発、製品化にも注力しています。